蚀刻设备

蚀刻设备

蚀刻设备是利用湿法蚀刻进行材料去除的制程，它使用液体化学品或蚀刻剂从晶圆或者小型部件上去除材料。具体的图案由光刻胶掩模定义。不受此掩模保护的材料会被液体化学物质蚀刻掉。

此台设备将小型部件的湿法蚀刻过程自动化，从蚀刻、冲洗到空气干燥过程，并集成到一个工作站中。