蝕刻設備

蝕刻設備

蝕刻設備是利用濕法蝕刻進行材料去除的製程，它使用液體化學品或蝕刻劑從晶圓或者小型部件上去除材料。 具體的圖案由光刻膠掩模定義。 不受此掩模保護的材料會被液體化學物質蝕刻掉。

此台設備將小型部件的濕法蝕刻過程自動化，從蝕刻、沖洗到空氣乾燥過程，並集成到一個工作站中。